最高レベルの測定技術
高純度、媒体抵抗、リーク タイト、精度、並びにSEMATECHやSEMI規格はすべて、半導体業界向けの計測器の開発及び製造の基本要件です。
WIKAの製品群は、ガス、化学薬品及び溶剤供給システムに圧力測定のためのカスタムメイドのソリューションを提供しています。デッドスペースが少なく、センサー表面の優れたパージ特性を特徴とする革新的な製品設計により、始動及びメンテナンス時間の短縮が可能です。
危険エリアでは、適切な法律や指令に従って測定を行うために、ATEX及び 又はFM認証設計の機器を提供しています。
アプリケーション例
- ガス供給システム（ガススティック、ガスパネル、バルクガス供給）
- 超高純度水の供給
- 液薬供給
- 液体ガスと溶媒のレベル測定