モデル Hydra-Dry

HYDRA-Dry

超高純度仕様圧力トランスミッタ

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セールスコンタクト

ビカ・ジャパン株式会社

電話番号:
+81 3 5439 6673
Fax:
+81 3 5439 6674
info@wika.co.jp

用途

  • 半導体産業
  • UHPケミカル分配システム

特徴

  • 特許取得済みの二重ダイアフラム構造
  • 非金属セラミックセンサー、内封液なし
  • 接液部材質 Perfluoroalkoxy(PFA)
  • 設置後も270°回転可能なセンサー部
  • 保護等級IP67
  • オプション: インジケータ: パネルマウントまたは直取り付け

製品説明

本製品はHYDRAシリーズとして、半導体産業を代表する企業の協力で開発しました。プロセス設備の特殊要求やUHPケミカル分配システムに適した製品を目指しております。

HYDRA-Dryの圧力トランスミッタは高精度、 優れた信頼性 、卓越したレベルに清浄された接液部材質、接液面を有しております。

プロセスへの漏洩となり得る内封液は使用しておりません。

更に、接液部の全部品の製作、洗浄、組立、校正、包装は、class100のグレードのクリーニングルームで行われております。

二重の安全構造
特許を取得したHYDRAダブルダイアフラムシステムは、プロセス媒体から圧力センサーを安全かつ確実に分離することを可能にしています。同時に不正確な測定結果やセンサーエレメントの破損が発生しないよう、HFやHCl蒸気のような拡散するプロセス媒体は周囲に放出されます。

HYDRA-Dry
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